工程概况：
本工程为中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司12英寸集成电路项目废水深度处理工程，建设地点为深圳市坪山区大工业区内。处理规模：
总处理量4950m3/d(土建工程按10000m3/d规模设计)，其中包括含氟废水2100m3/d(土建工程按4200m3/d规模设计)，人工湿地按10000m3/d规模一次建成设计。项目目场地面积28886.96m2。处理工艺：
含氟废水处理工艺：三级混凝沉淀+TMF处理工艺+RO反渗透。
综合废水处理工艺：立体生态深度处理系统+混凝沉淀+人工湿地处理工艺。